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傳統電子式速度傳感器易受變頻器、無線設備干擾。光子晶體(PhC)通過周期性介電結構調控光/電磁波,實現高Q值諧振與抗干擾,同時大幅縮小體積。
光子晶體傳感原理:
結構:在硅基板上刻蝕二維三角晶格空氣孔,形成光子帶隙(PBG)。當速度引起磁路微擾,改變光子晶體的局域態密度(LDOS),通過倏逝波耦合至波導,由光電探測器接收。
抗干擾:PBG可控制1~10GHz頻段電磁波,帶外控制比>40dB。
防爆集成設計:
封裝:光子晶體芯片嵌入藍寶石外殼(透光率>90%,耐溫-40℃~200℃),通過激光焊接密封,IP68防護。
本安化:光源采用VCSEL(垂直腔面發射激光器,功率1mW,波長850nm),通過光纖傳輸信號,避免電火花。
性能測試:
靈敏度:齒輪轉速0~5000rpm,光強變化線性度R2=0.999,分辨率0.05rpm。
抗干擾:在10V/m 1GHz干擾下,信噪比保持45dB,較傳統霍爾傳感器提升20dB。
防爆安全:滿功率工作時外殼溫度25℃(無焦耳熱),符合Ex ia IIC T4 Ga。